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Gratings

Um auch in Zukunft, den Anforderungen der Mikro- und Nanotechnologie gerecht zu werden, bieten wir nun auch so genannte „Grating-Strukturen“ an. Dabei handelt es sich um periodische Nanostrukturen auf Wafer-Skala.

Diese Gratings, die auch optische Gitter genannt werden, finden in den unterschiedlichsten Bereichen Anwendung.

So werden sie u.a. als:

  • großflächige und kohärente Master für die Nanoimprintlithographie
  • Nanostrukturen für eine automatische Justage von Systemen zur Elektronenstrahllithographie bzw. Elektronenstrahlmikroskope
  • Koppelstrukturen für die effiziente Ein- und Auskopplung von optischer Strahlung
  • Gitterwellenleiterstrukturen für hochreflektierende Pulskompressionsgitter (hPC)
  • Beugungsgitter für spektroskopische Anwendungen
eingesetzt.

Zögern Sie nicht uns zu kontaktieren, wenn Sie bei der Auswahl der Spezifikationen Unterstützung benötigen!
Wir beraten Sie gerne telefonisch unter +49-(0)241/900 5333 oder per E-Mail.

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Impressionen

Grating Gratings Grating Structures
Grating Gratings Grating Structures
Grating Gratings Grating Structures

Typische Spezifikationen:

Gittertyp:
Linen-, Loch- und Säulengitter in rechtwinkliger und hexagonaler Anordnung

Durchmesser:
50.8 mm,
76.2 mm,
100 mm,
150 mm,
200 mm
(auf Anfrage)

Substrat:
Silizium,
Glas,
Quarz, …

Periode:
400 nm bis 1000 nm vollflächig

Strukturgröße:
50 nm – 600 nm typisch

Ätztiefe:
20 nm – 500 nm typisch