DeutschSaphir ist ein vielseitig einsetzbares Substratmaterial, das sich durch hohe Materialqualität und vielfältige Bearbeitungsmöglichkeiten auszeichnet. SIEGERT WAFER bietet Saphir-Wafer in unterschiedlichen Durchmessern, Kristallorientierungen und Oberflächenqualitäten für Anwendungen in Forschung und Industrie.
Je nach technischer Aufgabenstellung können Saphir-Wafer mit verschiedenen Orientierungen, Dicken und Oberflächenfinishs ausgewählt werden. Auch ein definierter Fehlschnitt wird auf Wunsch berücksichtigt.
Zum Einsatz kommen Saphir-Wafer beispielsweise in der Optikindustrie, in Halbleiteranwendungen sowie in weiteren technischen Bereichen mit besonderen Anforderungen an Substrat und Oberfläche.
Die Kristallorientierung gehört zu den zentralen Auswahlkriterien bei einem Saphir-Wafer. Abhängig vom späteren Prozess stehen verschiedene Orientierungen zur Verfügung.
SIEGERT WAFER bietet unter anderem:
Damit können Saphir-Wafer gezielt an unterschiedliche technische Anforderungen angepasst werden. Zusätzlich sind je nach Spezifikation Ausführungen mit definiertem Fehlschnitt möglich.
Wenn Sie nicht sicher sind, welche Orientierung für Ihren Prozess geeignet ist, unterstützen wir Sie gerne bei der Auswahl!
Bei vielen Anwendungen entscheidet die Qualität der Oberfläche darüber, ob ein Substrat für den vorgesehenen Prozess geeignet ist. Deshalb sind Saphir-Wafer mit unterschiedlichen Oberflächenfinishs erhältlich.
Mögliche Ausführungen sind unter anderem:
Für polierte Saphir-Wafer sind sehr geringe Oberflächenrauigkeiten von bis zu Ra ≤ 0,3 nm möglich. Damit stehen auch Substrate für Prozesse mit besonders hohen Anforderungen an die Oberflächenqualität zur Verfügung.
Die Vorder- und Rückseite können abhängig von der gewünschten Ausführung unterschiedlich bearbeitet werden.
Für technische Anwendungen sind Saphir-Wafer mit einer Reinheit von mindestens 99,99 % erhältlich. Je nach konkreter Ausführung kann die Reinheit auch darüber liegen.
Neben der Materialreinheit sollten bei der Produktauswahl auch Orientierung, Oberflächenqualität, Durchmesser und geometrische Anforderungen berücksichtigt werden. So lässt sich der benötigte Saphir-Wafer deutlich präziser definieren als nur über den Durchmesser.
Durch die Kombination aus verschiedenen Kristallorientierungen und hochwertigen Oberflächen eignen sich Saphir-Wafer für unterschiedliche technische Einsatzgebiete.
Dazu gehören unter anderem:
Welche Spezifikation benötigt wird, hängt dabei stark vom jeweiligen Fertigungsprozess ab. Für Forschungsprojekte können beispielsweise andere Anforderungen an Durchmesser und Oberfläche bestehen als bei industriellen Prozessen oder optischen Anwendungen.
Neben der Lieferung geeigneter Substrate kann SIEGERT WAFER verschiedene zusätzliche Bearbeitungsschritte anbieten.
Für Saphir-Wafer stehen unter anderem Dienstleistungen wie:
zur Verfügung. Die Bearbeitung kann dadurch auf den späteren Einsatzzweck abgestimmt werden.
Gerade bei kundenspezifischen Projekten ist es sinnvoll, Substratbeschaffung und nachgelagerte Bearbeitungsschritte gemeinsam zu betrachten.
Sie benötigen Saphir-Wafer mit einer bestimmten Kristallorientierung, Oberflächenqualität oder Geometrie?
Senden Sie uns Ihre technischen Anforderungen und die gewünschte Stückzahl. Wir prüfen die passende Ausführung und unterstützen Sie bei Bedarf bei der Definition noch offener Spezifikationen.
Neben kundenspezifischen Anforderungen lohnt sich auch ein Blick in den Lagerbestand. Dort können verfügbare Saphir-Wafer unter anderem nach Durchmesser, Orientierung und Dicke ausgewählt werden.
Diameter
2" (50.8 mm)
3" (76.2 mm)
100 mm
125 mm
150 mm
200 mm
Growth
Kyropolos
HEM
Purity
≥99.99 %
Orientation
C-Plane (0001)
A-Plane (11-20)
R-Plane (1-102)
M-Plane (10-10)
Surface Finish
Optical Polished
Epi-Polished
Fine Ground
As Lapped
Surface roughness
Polished: Ra<=0.3 nm
Fine Ground: <1 µm
As Lapped: <1 µm
Ein Saphir-Wafer ist ein hochreines Substrat aus monokristallinem Aluminiumoxid. Aufgrund seiner außergewöhnlichen Härte, optischen Transparenz und thermischen Stabilität wird ein Saphir-Wafer in zahlreichen Hightech-Anwendungen eingesetzt.
Ein Saphir-Wafer überzeugt durch eine hohe mechanische Festigkeit, hervorragende Kratzfestigkeit, hohe Temperaturbeständigkeit sowie eine ausgezeichnete chemische Beständigkeit.
Ein Saphir-Wafer wird unter anderem in der LED-Industrie, der Optoelektronik, der Halbleitertechnik, Hochfrequenztechnik, Sensorik sowie für optische Fenster und wissenschaftliche Anwendungen verwendet.
Ein Saphir-Wafer bietet eine hervorragende Kombination aus mechanischer Stabilität, thermischer Belastbarkeit und hoher Oberflächenqualität. Dadurch eignet er sich ideal als Trägersubstrat für anspruchsvolle Fertigungsprozesse.
Ein Saphir-Wafer ist in verschiedenen Standarddurchmessern von 2 Zoll bis 200 mm erhältlich. Weitere Größen sind auf Anfrage möglich.
Ja. Ein Saphir-Wafer ist sowohl für Forschungsprojekte als auch für Kleinserien und industrielle Anwendungen erhältlich.
Ein Saphir-Wafer ist unter anderem in C-Plane (0001), A-Plane (11-20), R-Plane (1-102) und M-Plane (10-10) erhältlich.
Ein C-Plane-Saphir-Wafer wird häufig für die Epitaxie von GaN und LED-Anwendungen eingesetzt. Ein R-Plane-Saphir-Wafer bietet dagegen Vorteile für bestimmte optische und elektronische Anwendungen, bei denen andere Kristalleigenschaften gefragt sind.
Ein Saphir-Wafer ist je nach Anwendung optisch poliert, epi-poliert, fein geschliffen oder geläppt erhältlich.
Bei einer Epi-Politur wird die Oberfläche eines Saphir-Wafers besonders fein bearbeitet. Dadurch entstehen ideale Voraussetzungen für epitaktische Beschichtungsprozesse.
Ein Kyropoulos-Saphir-Wafer und ein HEM-Saphir-Wafer unterscheiden sich im Herstellungsverfahren. Welches Verfahren besser geeignet ist, hängt von den Anforderungen der jeweiligen Anwendung und den gewünschten Materialeigenschaften ab.
Ja. Ein Saphir-Wafer kann beispielsweise mit einer Antireflexbeschichtung versehen oder für weitere Prozessschritte vorbereitet werden.
Der Preis eines Saphir-Wafers hängt unter anderem von Durchmesser, Dicke, Kristallorientierung, Oberflächenqualität und Stückzahl ab.
Ja. SIEGERT WAFER beliefert sowohl Forschungsprojekte als auch industrielle Serienkunden mit Saphir-Wafern.