Das Schleifen (engl. grinding) von Wafern ist eine Technologie zur Verringerung der Waferdicke. Es wird auch als Rückschleifen oder Rückdünnen bezeichnet. Normalerweise wird es in mehreren Schritten mit verschiedenen Schleifscheiben durchgeführt. Mit jedem Schritt wird die Körnung feiner, um Schäden unter der Oberfläche des vorherigen Schritts zu beseitigen und die Oberflächenrauigkeit weiter zu verringern. Das feinste Ultrapoligrind-Rad führt zu einer fein geschliffenen, spiegelnden Oberfläche.
Zum Schutz der Wafervorderseite wird diese temporär mit einer UV-Folie versehen. Die Folie kann vor dem Versand an den Kunden entfernt werden oder verbleibt auf dem Wafer, um die Oberfläche zu schützen und ein Brechen während des Transports zu verhindern.
Wafer können vom Kunden oder von uns bereitgestellt werden. Auch prozessierte Wafer können verarbeitet werden. Wir sind spezialisiert auf das Abdünnen von Deviceschichten von SOI-Wafern.