Dienstleistungen
Schleifen und Polieren, Reclaim
Silizium & Glas Wafer
Trennschleifen, Formatieren (Dicing)
in verschiedenste Formate
Oxidation
Trockenoxid, Feuchtoxid
Low Temperature Oxide (LTO)
Dünnschicht Technologie
PVD, LPCVD, PECVD
Messen von Wafereigenschaften
Type-check, Resistivity-check, GDMS, SRP, AFM
Schichtdickenmessung
durch Ellipsometer oder Filmetrics
weitere Dienstleistungen auf Anfrage